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           将图像定位与激光定位技术相集成,由图像定位技术自动定位至250微米的光栅捕捉范围内,再由激光光栅定位技术实现误差为±5微米的高精度平面定位。由此构成捕捉范围宽、定位精度高的一体化精密定位系统。



    所属领域

    装备制造


    项目成熟度

    研制阶段 


    合作方式

    合作开发 

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